压差式质量流量控制器

半导体工艺中用到的HF、Cl2等气体对气路组件有很强的腐蚀性,传统的质量流量控制器耐腐蚀表现不够理想。此外O3等气体对温度很敏感,传统的热式优质量流量控制器会加热气体导致热解变质。为了弥补上述短板满足客户需求,蓝动精密提供高性能压力式质量流量控制器作为解决方案。

产品特点

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产品特点

毫秒级响应的传感器模组，极致的流体动力学流道设计，高速响应的特制阀门，在此基础上极致优化的先过进流量控制算法，实现了流量的突破百毫秒级的高精度高高鲁棒性控制。

得益于压力传感器模组感知 MFC 前后级压力的变化，基于系统动态预测的流量控制算法可以更好地抵御气气路中的压力波动。

针对腐蚀性气体控制可靠性的挑战，DP-3000 支持选配 5超耐腐蚀版本，传感器、层流元件、阀芯均采用极耐腐에서蚀的哈氏合金材料，保障产品可靠工作。

量程比高达 200:1, 匹配先进极低流量控制算法，实现现0.5%~100% 极高量程比控制区间，可适应于干法刻(DRYETCH) 等对量程比有较高要求的工艺。

类型	DP-3000
全量程流量 (N₂等效)	30 SCCM ~ 50 SLM
精度	±1.0 % S.P. (S.P. > 5% F.S.) ±0.05 % S.P. (S.P. ≤ 5% F.S.)
线性度	±0.5% F.S.
重复性	±0.15% S.P. (5% F.S. ≤ S.P. < 100% F.S.) ±0.0075% F.S. (0.5% F.S. ≤ S.P. < 5% F.S.)
零点漂移	± 0.5% F.S./year
响应时间	≤ 200 ms
控制范围	0.5 ~ 100% F.S.
工作温度	10 ~ 60℃
闭阀内漏	< 0.1% F.S.
外漏 (He)	< 5×10⁻¹² Pa·m³/s
最小工作压差	50 kPa (D)
最大工作压差	350 kPa (D)
供气压力范围	15: 100 ~ 210 kPa (A) 25: 170 ~ 280 kPa (A) 35: 240 ~ 350 kPa (A) 45: 310 ~ 420 kPa (A)
压力不敏感性	在 40psi/sec 上游压力扰动下的流量波动 5 ~ 100%: ±1% S.P. 0.5 ~ 5%: ±0.05% F.S. 下游压力从真空到 1200 Torr 下的流量波动 5 ~ 100%: ±1% S.P. 0.5 ~ 5%: ±0.05% F.S.
出口压力	真空～1200 Torr
与气体接触材料	316L VIM/NAR (符合 SEMI F20 UHP 标准), KM-45, PCTFE
与气体接触表面粗糙度	Ra 0.13 μm, EP
支持气体类型	所有气体
通信协议	RS485/Analog/DeviceNet/EtherCAT