通用质量流量控制器

产品特点

产品规格

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产品特点

自研高稳定性快速响应控制算法，具备抗过冲、升降响应快等优势，流量设定响应时间～700ms以内；全系列采用多层压电陶瓷促动器驱动阀门控制，具备高精度位移控制、快速响应、低发热等多种优势。

超精密热式流量传感器拥有独立控制响应控制回路，在全量程、多种气体范围可实现流量精确校准及测量，为高精度流量控制提供保障；高可靠的流量传感器制造工艺可有效降低传感器漂移。

全系列采用符合SEMI UHP等级的不锈钢316L等材料作为接触气体材料，具备满足SEMI要求的表面处理工艺；采用全金属密封流路，稳定、可靠。

GT-2000系列内置气体压力传感器，集成抗压力扰动流量控制算法，可有效减弱气路压力波动及串扰对流量控制的影响，为工艺稳定性提供保障。

类型	GT-10-R	GT-10-M
全量程流量 (N₂等效)	#X: 10 SCCM #1: 30 SCCM #2: 100 SCCM #3: 300 SCCM #4: 1 SLM	#5: 3 SLM #6: 10 SLM #7: 30 SLM #8: 50 SLM
精度	±1.0% S.P. (设定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量 ≤ 25% F.S.)	±1.0% S.P. (设定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量 ≤ 25% F.S.)
线性度	±0.5% F.S.	±0.5% F.S.
重复性	±0.2% F.S.	±0.2% F.S.
零点漂移	±0.2% F.S. / year	±0.2% F.S. / year
响应时间	≤ 1000 ms	≤ 800 ms
控制范围	2 ~ 100% F.S.	2 ~ 100% F.S.
工作温度	15 ~ 45℃	15 ~ 45℃
阀门类型	NC：常闭	MT：流量计（无阀门）
闭阀内漏	< 1% F.S.	< 1% F.S.
外漏 (He)	<1×10⁻¹⁰ Pa・m³ /s (非金属密封)	1×10⁻¹¹ Pa・m³/s (金属密封)
工作压差	BIN 0X ~ 05: 50 ~ 300 kPa (D) BIN 06: 100 ~ 300 kPa (D) BIN 07 ~ 08: 200 ~ 300 kPa (D)	BIN 0X ~ 05: 50 ~ 300 kPa (D) BIN 06: 100 ~ 300 kPa (D) BIN 07 ~ 08: 200 ~ 300 kPa (D)
最大工作压力	450 kPa (G)	450 kPa (G)
耐压	3000 kPa (G)	3000 kPa (G)
与气体接触材料	316L; PTFE; 软磁不锈钢；氟橡胶；	316L; PTFE; 软磁不锈钢；
通信协议	RS485 / 模拟信号 / DeviceNet / EtherCAT / MODBUS	RS485 / 模拟信号 / DeviceNet / EtherCAT / MODBUS