热式质量流量控制器

GT-170系列为蓝动精密开发的大流量热式气体质量流量控制器产品，最大流量可至1000SLM。该产品采用橡胶密封方案，可以满足半导体、光伏、工业制造、实验室等场景中对大流量气体的流量控制需求，支持多量程/多气体功能，可由客户根据使用场景灵活配置。此系列可提供满足IP66等级的产品, 满足客户在恶劣场景下的应用。