质量流量控制器

产品特点

产品规格

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产品特点

全系列采用符合SEMI UHP等级的不锈钢316L等材料作为接触气体材料，具备满足SEMI要求的表面处理工艺；采用全金属密封流路，稳定、可靠。

超精密热式流量传感器拥有独立控制响应控制回路，在全量程、多种气体范围可实现流量精确校准及测量，为高精度流量控制提供保障；高可靠的流量传感器制造工艺可有效降低传感器漂移。

自研高稳定性快速响应控制算法，具备抗过冲、升降响应快等优势，流量设定响应时间～700ms以内；全系列采用多层压电陶瓷促动器驱动阀门控制，具备高精度位移控制、快速响应、低发热等多种优势。

类型	GT-110
全量程流量 (N₂等效)	#1X: 10 SCCM #11: 30 SCCM #12: 100 SCCM #13: 300 SCCM #14: 1 SLM #15: 3 SLM #16: 10 SLM #17: 30 SLM #18: 50 SLM
精度	± 1.0 % S.P. ( 设定流量 > 25% F.S.) ± 0.05 % F.S. ( 设定流量 ≤ 25% F.S.)
线性度	± 0.5% F.S.
重复性	± 0.2% F.S.
零点漂移	± 0.15% F.S. / year
控制区间	2～100% F.S. 自动闭阀 ≤ 2%
响应时间	≤ 1000 ms
工作温度	15 ～ 60 ℃
阀门类型	MT：流量计（无阀门） NC：常闭
内漏	< 1% F.S.
外漏（He）	< 5×10⁻¹² Pa·m³/ s( 金属密封 ) < 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s ( 非金属密封）
工作压差	BIN 0X ～ 05: 50 ～ 300 kPa（D） BIN 06 : 100 ～ 300 kPa（D） BIN 07 ～ 08: 200 ～ 300 kPa（D）
最大工作压力	450 kPa (G)
耐压	1000 kPa (G)
与气体接触材料	金属密封版本：316L( 符合 SEMI F20 UHP 标准 )；PTFE；KM45 橡胶密封版本：316L( 符合 SEMI F20 UHP 标准 )；PTFE；KM45；氟橡胶
与气体接触表面粗糙度	Ra 0.13 μm, EP Ra 0.25 μm
通信协议	RS485 / 模拟信号 / DeviceNet / EtherCAT / PROFIBUS