高性能质量流量控制器

产品特点

产品规格

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产品特点

自研高稳定性快速响应控制算法，具备抗过冲、升降响应快等优势，流量设定响应时间～700ms以内；全系列采用多层压电陶瓷促动器驱动阀门控制，具备高精度位移控制、快速响应、低发热等多种优势。

超精密热式流量传感器拥有独立控制响应控制回路，在全量程、多种气体范围可实现流量精确校准及测量，为高精度流量控制提供保障；高可靠的流量传感器制造工艺可有效降低传感器漂移。

全系列采用符合SEMI UHP等级的不锈钢316L等材料作为接触气体材料，具备满足SEMI要求的表面处理工艺；采用全金属密封流路，稳定、可靠。

类型	GT-1000
全量程流量 (N₂等效)	#0X: 10 SCCM #01 : 30 SCCM #02 : 100 SCCM #03 : 300 SCCM #04 : 1 SLM #05: 3 SLM #06 : 10 SLM #07 : 30 SLM #08 : 50 SLM
精度	± 1.0 % S.P. (S.P. ≥ 5% F.S. ) ± 0.05 % F.S. (S.P. ＜ 5% F.S. )
线性度	± 0.5% F.S.
重复性	± 0.2% F.S.
零点漂移	± 0.15% F.S. / year
响应时间	≤ 700 ms
控制范围	0.5～100% F.S.
工作温度	15 ~ 60 ℃
闭阀内漏	< 0.1% F.S.
外漏（He）	< 5×10⁻¹² Pa·m³/ s
工作压差	BIN 0X ~ 05: 50 ~ 300 kPa (D) BIN 06: 100 ~ 300 kPa (D) BIN 07 ~ 08: 200 ~ 300 kPa (D)
最大工作压力	450 kPa (G)
与气体接触材料	316L VIM/VAR（符合SEMI F20 UHP标准）
与气体接触表面粗糙度	Ra 0.13 μm，EP
支持气体类型	所有气体
通信协议	RS485 / Analog / DeviceNet / EtherCAT