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高性能质量流量控制器
随着半导体制程要求升级，对工艺气体的精准、高一致性的控制要求愈加严苛。蓝动精密推出的GT-1000/2000 系列高性能质量流量控制器，在宽温域内可实现高精度、高动态一致性的快速控制，已在 PVD、CVD、ALD、ALE、ETCH、IMP、EPI 等工艺中得到验证，为晶圆生产过程中的高一致性、高良率需求提供关键解决方案。
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产品特点
产品规格
| 类型 | GT-2000 |
|---|---|
| 全量程流量 (N₂等效) | #0X: 10 SCCM #0X: 10 SCCM #01 : 30 SCCM #02 : 100 SCCM #03 : 300 SCCM #04 : 1 SLM #05: 3 SLM #06 : 10 SLM #07 : 30 SLM #08 : 50 SLM |
| 精度 | ± 1.0 % S.P. ( S.P. ≥ 5% F.S. ) ± 0.05 % F.S. ( S.P. ＜ 5% F.S. ) |
| 线性度 | ± 0.5% F.S. |
| 重复性 | ± 0.15% S.P. ( S.P. ≥ 5% F.S. ) ± 0.0075% F.S. ( S.P. ＜5% F.S. ) |
| 零点漂移 | ± 0.15% F.S. / year |
| 响应时间 | ≤ 500 ms |
| 控制范围 | 0.2～100% F.S. |
| 工作温度 | 15 ~ 60℃ |
| 闭阀内漏 | < 0.1% F.S. |
| 外漏（He） | < 5×10⁻¹² Pa·m³/ s |
| 工作压差 | BIN 0X ~ 05: 50 ~ 300 kPa(D) BIN 06: 100 ~ 300 kPa(D) BIN 07 ~ 08: 200 ~ 300 kPa(D) |
| 最大工作压力 | 450 kPa (G) |
| 压力不敏感性 | 在 5psi/sec 上游压力扰动下的流量波动 #0X ~ #01: ≤ ± (1.5% F.S.+1.5% S.P.) #02 ~ #08: ≤ ±1.0% F.S. |
| 与气体接触材料 | 316LVIM/VAR（符合SEMIF20UHP标准）; 哈氏合金 |
| 与气体接触表面粗糙度 | < 0.13 μm Ra |
| 通信协议 | RS485 / 模拟信号 / DeviceNet / EtherCAT |
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