通用压力控制器

半导体制程中，工艺气输送气路和机台腔体等位置的压力控制需求多种多样，随着工艺制程要求的提升，对压力控制的精度、稳定性等性能指标的要求也在提高。本产品具有多种量程、多种压力控制模式，满足各种不同的压力控制场景的需求。采用智能的控制算法与高精度压力传感器，保障产品具有突出的控制精度与稳定性。

产品特点

产品规格

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产品特点

支持选择从几百到几千Torr的压力满量程,覆盖表压和绝压,类型支持上游和下游压力控制模式,客户可根据需求灵活选选择型号。产品支持外接压力控制功能,可实现通过外接压差传感器等进行反馈控制。

压力芯体经过全温区校准，确保精度高、迟滞低、一致性好，产品经过长期可靠性测试验证，确保产品在长期压力循环条件下保持较低漂移，保障机台工艺效果长期一致。

可选配精度高达±1%S.P.的流量传感器,对系统流量实时监测,可动态监控工艺过程,保障工艺长期稳定性。

响应时间 < 1s, 采用纳米级分辨率压电陶瓷阀和基于多模型的智能压力控制算法，在控制响应时间、超调量、阀控寿命方面相较于电磁阀压力控制器更优。

性能	PR-1000
全量程压力	绝压款: 50~1000 kPa (A) 表压款: 300~1000 kPa (G) (可定制压力量程和单位)
压力精度	±1.0% S.P. (S.P. ≥ 10% F.S.) ±0.2% F.S. (S.P. < 10% F.S.)
压力零点的温度敏感性	0.02% F.S. /℃
压力满点的温度敏感性	±0.04% R.S. /℃
全量程流量 (N₂等效)	1 ~ 50 SLM
流量测量精度	±1% R.S. (R.S. ≥ 20% F.S.) ±0.2% F.S. (R.S. < 20%F.S.)
响应时间	< 1000 ms (不含系统时间常数)
压力控制范围	2 ~ 100% F.S.
最大工作压力	2 x F.S.
工作温度	5 ~ 50℃
阀门类型	NC : 常闭 NO : 常开
阀门流通能力 (Cv)	等效 1 SLM N₂流量 (0.0032) 等效 5 SLM N₂流量 (0.016) 等效 10 SLM N₂流量 (0.032) 等效 30 SLM N₂流量 (0.1)
闭阀内漏	< 1%流通能力
外漏 (He)	< 1x10⁻¹¹ Pa·m³/s
与气体接触材料	316L VIM/VAR (符合 SEMI F20 UHP 标准)，哈氏合金
与气体接触表面粗糙度	Ra 0.13 μm, EP
通信协议	Analog/RS485/DeviceNet/EtherCAT

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通用压力控制器-PR-1000系列宣传手册

通用压力控制器-PR-1000系列产品手册

高精度 < 1%、低内漏 < 0.1%、量程选择广 5~100Torr