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高纯压力变送器

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产品特点

超耐蚀性

提供316LVIM/VAR、C276及C22多种特殊合金膜片材质,能从容应对各类强酸、强氧化等腐蚀性特气,显著提升传感器芯体结构在苛刻环境下的寿命,降低维护频次与使用成本。

高洁净

全系列产品采用满足半导体工艺要求的耐腐蚀材料,气体接触表面采用电解抛光(EP)、钝化等表面处理工艺,颗粒物及污染控制完全遵从半导体行业标准,为超高纯气路提供可靠洁净保障。

适应性广

支持VCR、IGS (C-SEAL、W-SEAL)接口,支持多种电气接口及信号输出,支持多种压力量程,支持单位切换,具备旋转显示数值一体化面板,适应不同安装角度。

高精度

全系列产品具备良好的热稳定性,热应力小,长期温漂、零漂小,融合智能温度补偿算法,全系列精度高达±0.5%F.S.。

产品规格

性能 PT - 8000 系列
类型 玻璃微熔式
量程 0 ~ 75/100/150 psi , 绝压
0 ~ 75/100/150 psi , 表压
-14.5 ~ 75/100/150 psi , 复合压
综合精度 < ± 0.5% F.S.
温度漂移 < ± 0.05% F.S./℃
长期漂移 0.25% F.S./year
工作温度 0 ~ 80℃ (无结冰、无凝露)
供电电压 15 ~ 24 V DC
模拟输出信号 0 ~ 5 V DC, 0 ~ 10 V DC, 1 ~ 5 V DC, 5 ~ 10 V DC, 4 ~ 20 mA DC
耐压 2 × F.S.
外漏 (He) < 5 x 10⁻¹² Pa·m³/s
膜片材料 316L VIM/VAR (符合SEMI F20 UHP标准), 哈氏合金
与气体接触材料 316L VIM/VAR (符合SEMI F20 UHP标准)
与气体接触表面粗糙度 Ra 0.13 μm, EP
气路接口 1.125" W-SEAL
1.125" C-SEAL
1.5" W-SEAL
1.5" C-SEAL
1/4" VCR
密封类型 金属密封
开关量类型 输出端个数 : 0, 1, 2;输出方式 : NPN / PNP

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