
随着半导体制造工艺持续升级,对高纯度工艺气体的精准与稳定控制提出更高要求,成为影响设备性能与晶圆质量的关键环节。PT-8000 系列高纯压力变送器适用于:半导体超纯气体供应系统压力监测、平板显示产业中气体压力监测、光伏产业中气体压力监测。该产品符合 SEMI 标准,适用于 Class 100 (ISO5) 及以上洁净室环境,具备高精度、高洁净、适应性广与超耐腐蚀四大优势,可为芯片制造提供稳定可靠的气体压力测量支持,助力提升工艺一致性与生产良率。
获取报价提供316LVIM/VAR、C276及C22多种特殊合金膜片材质,能从容应对各类强酸、强氧化等腐蚀性特气,显著提升传感器芯体结构在苛刻环境下的寿命,降低维护频次与使用成本。
全系列产品采用满足半导体工艺要求的耐腐蚀材料,气体接触表面采用电解抛光(EP)、钝化等表面处理工艺,颗粒物及污染控制完全遵从半导体行业标准,为超高纯气路提供可靠洁净保障。
支持VCR、IGS (C-SEAL、W-SEAL)接口,支持多种电气接口及信号输出,支持多种压力量程,支持单位切换,具备旋转显示数值一体化面板,适应不同安装角度。
全系列产品具备良好的热稳定性,热应力小,长期温漂、零漂小,融合智能温度补偿算法,全系列精度高达±0.5%F.S.。
| 性能 | PT - 8000 系列 |
|---|---|
| 类型 | 玻璃微熔式 |
| 量程 | 0 ~ 75/100/150 psi , 绝压 0 ~ 75/100/150 psi , 表压 -14.5 ~ 75/100/150 psi , 复合压 |
| 综合精度 | < ± 0.5% F.S. |
| 温度漂移 | < ± 0.05% F.S./℃ |
| 长期漂移 | 0.25% F.S./year |
| 工作温度 | 0 ~ 80℃ (无结冰、无凝露) |
| 供电电压 | 15 ~ 24 V DC |
| 模拟输出信号 | 0 ~ 5 V DC, 0 ~ 10 V DC, 1 ~ 5 V DC, 5 ~ 10 V DC, 4 ~ 20 mA DC |
| 耐压 | 2 × F.S. |
| 外漏 (He) | < 5 x 10⁻¹² Pa·m³/s |
| 膜片材料 | 316L VIM/VAR (符合SEMI F20 UHP标准), 哈氏合金 |
| 与气体接触材料 | 316L VIM/VAR (符合SEMI F20 UHP标准) |
| 与气体接触表面粗糙度 | Ra 0.13 μm, EP |
| 气路接口 | 1.125" W-SEAL 1.125" C-SEAL 1.5" W-SEAL 1.5" C-SEAL 1/4" VCR |
| 密封类型 | 金属密封 |
| 开关量类型 | 输出端个数 : 0, 1, 2;输出方式 : NPN / PNP |
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