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流量比例控制器

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产品特点

可定制

通道数量、流量满量程、分流比例、响应时间等关键技术规格支持定制化，同时可支持 DeviceNET,EtherCAT 等多种通信协议在定制版本实现，为半导体客户提供独特竞争优势。

快速响应

典型工况控制稳定时间 <2s (支持 < 1s 超快响应定制版本),动态抗扰控制算法在总流量变化时，依然能快速稳定分流比例。

高工艺适应性

前级流量、压力变化,仍然维持精确的比例;采用全金属密封、与气体接触材料及材料表面处理满足SEMIF20F19标准;核心零部件采用哈氏合金,具备超强耐腐蚀性,应对各种严苛特殊工艺气体环境仍可稳定可靠运行。

宽域比例控制

流量比例调节范围从 1:20 到 20:1, 任意调节，同时根据客户需求可定制超宽比例控制 (如 100:1 以上) 版本。

产品规格

性能 TARGETS-N
通道数量 2 3 4 N 路分体式
全量程流量（N₂等效） 500, 1000, 2000, or 10000 SCCM（N＞ 4量程支持定制）
流量比例精度 ± 2% S.P. ( 通道流量 ＞10% F.S.)
流量比例重复性 ± 0.3% F.S.
响应时间 ≤ 2 s（支持更快速响应定制版本）
流量比例控制范围 0 or 5 ~ 100% F.S.
工作温度 15 ~ 60° C
闭阀内漏 ＜ 1% F.S. (500 Torr D)
外漏 (He) < 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
工作压差 ≤ 150 Torr（满量程500/1000/2000SCCM）
≤ 450 Torr（满量程10SLM）
测试工况：每个通道当前流量为满量程N2
出口压力 ≤ 200 Torr
最大允许入口压力 150 PSIG
最大允许出口压差 50 Torr (当每路流量比例相等时)
与气体接触材料 316L VIM/VAR (符合SEMI F20 UHP标准), 哈氏合金
与气体接触表面粗糙度 Ra 0.13 μm, EP
气路接口 1/4" VCR
通信协议 DeviceNet/EtherCAT

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