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电容薄膜真空计

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产品规格
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产品特点

洁净设计

所有气路表面粗糙度<10Ra,高度光滑内壁防止微粒附着与污染积聚,满足半导体、镀膜等对洁净度要求极高的敏感工艺环境。

超耐蚀性

采用防腐蚀陶瓷电容传感器,具备优异化学情性,可抵抗腐蚀性气体与溶剂侵蚀,从根本上保障传感器在苛刻介质中的长效稳定运行。

精准可靠

凭借出色零点稳定性与全面温补能力,有效抑制信号漂移,确保
宽温范围内长期测量精准,为工艺一致性与产品良率提供可靠基
石。

高性价比

以紧凑设计与优化成本直面市场需求,在有限空间内实现卓越性能,为追求投资回报率的用户大幅降低高质量真空测量的准入门槛。

产品规格

性能 VG-770
类型 电容薄膜
量程 10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 250 / 500 /1000 Torr
综合精度 0.5% of Reading
温度漂移 Zero: ≤ 0.008% F.S./℃, Span: ≤ 0.04 F.S./℃
长期漂移 0.1% F.S. / year
补偿温度 0 ~ 80 ℃
工作温度 0 ~ 80 ℃
供电电压 15 ~ 28 V DC
模拟输出信号 0 ~ 5 V DC, 0 ~ 10 V DC
耐压 Max. (5 × F.S. , 40 PSIA)
气路接口 1/2" Tube;
1/2" Swivel Female Face Seal;
1/4" Swivel Female Face Seal;
1/4" Swivel Male Face Seal;
NW 16 KF;
NW 25 KF;
电气连接 5-Pin Terminal Strip
D-Sub 9-Pin Connector
D-Sub 15-Pin Connector on 6-inch cable
响应时间 20 ms

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