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高纯压力开关
在半导体制造过程中,真空环境的稳定控制对于确保工艺精度与设备安全至关重要。PS-7000系列真空压力开关专为半导体应用设计,广泛应用于: Gas Panel气路动态压力监测、腔体压力监测、真空管路动态压力监测、传输腔室压力监测。本产品符合SEMI标准,适用于Class100(ISO5)及以上洁净室环境,覆盖中真空大气压(5~1000Torr)典型使用需求。
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产品特点
产品规格
| 性能 | PS - 7000 系列 |
|---|---|
| 类型 | 扩散硅式 |
| 量程 | 1000 Torr, A |
| 综合精度 | ≤ ± 0.25% F.S. |
| 温度漂移 | ≤ ± 0.03% F.S. / ℃ |
| 工作温度 | 0 ~ 80℃（无结冰、无凝露） |
| 供电电压 | 24 V DC |
| 耐压 | 2 x F.S. |
| 外漏 (He) | ＜ 5 x 10⁻¹² Pa·m³/s |
| 膜片材料 | 316L，哈氏合金 |
| 与气体接触材料 | 316L VIM / VAR（符合 SEMI F20 UHP标准), 哈氏合金 |
| 与气体接触表面粗糙度 | Ra 0.13 μm, EP |
| 气路接口 | 1.125" W-Seal 1.125" C-Seal Fixed 1/4" Male Face Seal |
| 密封类型 | 金属密封 |
| 开关量类型 | NPN / PNP / Solid State Relay Type |
| 压力报警点 | 5 ~ 1000 Torr 范围内可任意选择 |
| 线缆长度 | 默认搭配2m线缆（客户可定制长度） |
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